各種パーツ設計・製品
主要設備機械
処理槽
架台フレーム
架台組立図
架台ユニット
液体シュミレーション
搬送ARM
架台計画図
立体配管図
EEPU-00312(剥離(1)循環
EEPU-00313(剥離(2)循環
EEPU-00314(IPA(1)循環)
EEPU-00315(IPA(2)循環)
EEPU-00317(剥離IPA全体図)
リフトオフIPA実体配管_030404
QDR,IPA架台ビュー1